德圖氣探針

以聚焦的高速電子來(lái)激發(fā)出試樣表面組成元素的特征X射線(xiàn),對(duì)微區(qū)成分進(jìn)行定性或定量分析的一種材料物理試驗(yàn),又稱(chēng)電子探針X射線(xiàn)顯微分析。電子探針?lè)治龅脑硎?以動(dòng)能為10~30千電子伏的細(xì)聚焦電子束轟擊試樣表面，擊出表面組成元素的原子內(nèi)層電子，使原子電離，此時(shí)外層電子迅速填補(bǔ)空位而釋放能量，從而產(chǎn)生特征X射線(xiàn)。

用波長(zhǎng)色散譜儀(或能量色散譜儀)和檢測(cè)計(jì)數(shù)系統(tǒng),測(cè)量特征X射線(xiàn)的波長(zhǎng)(或能量)和強(qiáng)度，即可鑒別元素的種類(lèi)和濃度。

在不損耗試樣的情況下，電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內(nèi)、原子序數(shù)4以上的所有元素;但是對(duì)原子序數(shù)小于12的元素，其靈敏度較差。常規(guī)分析的典型檢測(cè)相對(duì)靈敏度為萬(wàn)分之一，在有些情況下可達(dá)十萬(wàn)分之一。檢測(cè)的靈敏度因元素而異，一般為10-14~10-16克。用這種方法可以方便地進(jìn)行點(diǎn)、線(xiàn)、面上的元素分析，并獲得元素分布的圖象。對(duì)原子序數(shù)高于10、濃度高于10%的元素，定量分析的相對(duì)精度優(yōu)于±2%

 德圖氣探針
電子探針儀是 X射線(xiàn)光譜學(xué)與電子光學(xué)技術(shù)相結(jié)合而產(chǎn)生的。1948年法國(guó)的R.卡斯坦制造了*臺(tái)電子探針儀。1958年法國(guó)首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結(jié)構(gòu)上有許多共同處。70年代以來(lái)生產(chǎn)的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能，有的還附
電子探針?lè)治?br />電子探針?lè)治?br />加另一些附件，使之除作微區(qū)成分分析外，還能觀察和研究微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)等。

電子探針儀(圖1)主要包括:探針形成系統(tǒng) (電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線(xiàn)信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)和顯示、記錄系統(tǒng)、樣品室、高壓電源和掃描系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。